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真空断熱の適用範囲

真空断熱には昇温機能はありませんが、上部からの放熱を限りなく無くした温度を供給可能です。

真空断熱の両端接続部からの熱周り込み現象を防止するため、1m以上を推奨します。

内側の熱が外側の配管を伝って放熱される（伝熱）→断熱配管の出入り口温度際に大きく影響するため、保温材でしっかりと保温施工する必要があります。

ただし真空断熱表面を保温してしまうと、さらに放熱しようと真空断熱配管表面を伝熱するため、保温施工は上記部位のみを推奨しています。

半導体製造装置～除害装置間

エノアの真空断熱製品は、「昇温速度を上げたい」「放熱による空調負荷を低減したい」「精密な温度管理を行いたい」「設備設置場所のスペース効率を上げたい」といった課題に応えます。

真空断熱構造により、長距離配管でも熱損失を最小化。温度低下を抑え、プロセスガスや排ガスを安定的に移送します。

配管内の高温を保持することで、副生成物や粉体の凝縮・付着を防ぎ、詰まりや腐食のリスクを低減します。

L字や曲がり角のある形状でも温度低下が少なく、ガス流路全体で安定した移送を実現します。

堆積や詰まりを抑えることで、清掃や交換の頻度を減らし、装置稼働率を向上させます。

真空断熱構造を延長可能なエノア製継手の採用により、両端の設備接続部以外では断熱構造を形成可能です。

Q1．真空断熱配管やフレキは表面が熱くなることはありませんか？

A：真空層があるため表面温度が熱くならず、過剰な断熱は不要です。さらに、真空断熱製品からの放熱によって周囲温度が上昇する心配もありません。

Q2．納期はどのくらいかかりますか？

A：短納期での対応が可能です。フレキシブルチューブ、配管は、弊社標準品で目安として約2ヵ月程度で納品しております。特殊形状の場合は別途ご相談となります。

Q3．定期的に再真空が必要ですか？

A：必要ありません。一度真空層を形成すれば、フレキシブルチューブは10年以上、配管製品は40年以上の長期使用が可能です。

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